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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

纳米加工平台是利用微纳米尺度的加工手段进行电子、光电子器件、微纳光机电系统、生物芯片和各种传感器开发的技术支撑体系。作为中国科学院、江苏省和苏州市的公共服务体系,加工平台既为研究院所和大学的科研开发活动提供服务,也为企业的纳米技术研究和产品开发提供全方位的开放服务。同时,平台为企业培养纳米技术人才。平台装备建设投资1亿元,工艺加工、工艺测试和器件封装等大型设备近百台套,超净实验室5500平方米。 目前已建成2-6"MEMS加工线(含生物芯片),2-6" III-V器件加工线,2-6" GaN基器件加工线及器件设计中心等。 服务方式: 1) 用户通过培训后可利用平台进行自主研发工作; 2) 为用户提供技术咨询; 3) 联合用户进行科研项目和产品研发; 4) 提供超净环境; 5) 接受用户的技术委托开发; 6) 技术人员培训和研究生培养;
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