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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

扫描电镜

  • 制造厂商:JEOL
  • 购置日期:
  • 型号:JSM-6390
  • 生产国别:进口
  • 联系人:张嫔     联系电话:62872625     
  • 功能/应用范围:

  • 主要技术指标:

    利用二次电子信息进行样品表面观察,还可以利用背散射电子成份衬度像进行异物及多层膜观察。 基本指标:1. High Vacuum Resolution:3.0nm(30KV)、8nm(15KV)        2.Low Vacuum Resolution:4.0nm        3. Magnification:5-300000×        4.Accelerated lvoltage:0.5-30KV        5.Bean current:1pA-1μA
  • 服务内容:

  • 服务的典型成果:

  • 用户须知:

  • 收费标准:

    360元/小时,30分钟为基本时间单元。
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