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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

电子束曝光机

  • 制造厂商:JEOL
  • 购置日期:
  • 型号:JBX-5500ZA
  • 生产国别:进口
  • 联系人:张嫔     联系电话:62872625     
  • 功能/应用范围:

  • 主要技术指标:

      电子束曝光是利用某些高分子聚合物对电子敏感而形成曝光图形的,与光学曝光对应,其特点是将聚焦电子束代替光照以实现抗蚀剂(光刻胶)的曝光(改性)。在实验室广泛应用的电子束曝光机为矢量扫描高斯型系统,即:电子束斑为高斯线型,工作时采用矢量扫描方式。电子束曝光无需掩膜,可实现低至10nm线宽图形,是目前纳米技术研究中非常重要的纳米图形生成手段。    基本指标:   Accelerating voltage: 25/50 kV   Minimum line width: 10 nm (50 kV&#65
  • 服务内容:

  • 服务的典型成果:

  • 用户须知:

  • 收费标准:

    800元/小时,30分钟为基本时间单元
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