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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

FHR溅射台(MS 150x6-L)

  • 制造厂商:GCEMarket
  • 购置日期:
  • 型号:MSI50x6-L
  • 生产国别:进口
  • 联系人:张嫔     联系电话:62872625     
  • 功能/应用范围:

  • 主要技术指标:

    在一相对稳定真空状态下,阴阳极间产生辉光放电,极间气体分子被离子化而产生带电电荷,其中正离子受阴极之负电位加速运动而撞击阴极上之靶材,将原子等粒子溅出,溅出的粒子则沉积于阳极的基板上而形成薄膜。磁控溅射是在阴极靶的表面上方形成一个正交电磁场,由于外加磁场的存在,电子的复杂运动增加了电离率,实现了高速溅射。 技术指标: 装片:一片六英寸衬底、或1片四英寸,向下兼容。 电源:配备射频(0-1kw)和直流(0-3kw)各一套。 真空配置:机械泵+分子泵 极限真空:1.8E-7mbar 基片温度:室
  • 服务内容:

  • 服务的典型成果:

  • 用户须知:

  • 收费标准:

    1000元/小时+300元/次工艺+材料费: 30元/10nm(Au及合金、Pd等)或20元/100
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